Vacuüm carbureren is om het werkstuk in vacuüm te verwarmen.Wanneer het de temperatuur boven het kritieke punt bereikt, zal het een tijd blijven, ontgassen en de oxidefilm verwijderen, en dan het gezuiverde carboneringsgas doorlaten voor carbonering en diffusie.De carboneringstemperatuur van vacuümcarboneren is hoog, tot 1030 ℃, en de carboneringssnelheid is snel.De oppervlakteactiviteit van gecarboniseerde onderdelen wordt verbeterd door ontgassen en desoxideren.De daaropvolgende diffusiesnelheid is te hoog.Carbureren en diffusie worden herhaaldelijk en afwisselend uitgevoerd totdat de vereiste oppervlakteconcentratie en diepte zijn bereikt.
Vacuüm carburerende diepte en oppervlakteconcentratie kunnen worden geregeld;Het kan de metallurgische eigenschappen van de oppervlaktelaag van metalen onderdelen veranderen, en de effectieve carboneringsdiepte is dieper dan de werkelijke carboneringsdiepte van andere methoden.